羅茨往復泵真空機組是運用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。中選用作業(yè)液來停止?jié)櫥⑻畛浔们凰老?,分隔排氣閥和大氣時,無作業(yè)液時,即為通常所稱的無作業(yè)液時,。
在油無作業(yè)液時,上稱皮帶傳動的、,而把泵與電機間接銜接或用聯(lián)軸器銜接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構造方式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用途也不同。
無作業(yè)液時,的種類繁多,在選型時特別要注意:
1、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境的影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的真空泵或真空機組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,首先選擇耐腐蝕允許部分顆粒或蒸汽的真空泵,還可以考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
3、所選無作業(yè)液時,在其正常工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中所產生的全部氣體量,無作業(yè)液時,否則影響真空度。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種真空泵不能滿足抽氣要求,需要幾種真泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。